歡迎進(jìn)入北京恒奧德儀器儀表有限公司網(wǎng)站!
24小時(shí)熱線電話:010-51655247
恒奧德儀數(shù)顯式電阻真空計(jì)數(shù)顯真空計(jì)的核心原理
更新時(shí)間:2026-05-25
點(diǎn)擊次數(shù):196
?恒奧德儀數(shù)顯式電阻真空計(jì)數(shù)顯真空計(jì)的核心原理
是將真空環(huán)境的壓力變化通過物理傳感轉(zhuǎn)換為電信號(hào),經(jīng)數(shù)字化處理后以數(shù)字形式直觀顯示壓力(真空度)數(shù)值?,其完整工作過程分為三個(gè)核心環(huán)節(jié):
一、壓力感知:不同原理適配不同真空范圍
根據(jù)真空度區(qū)間和測量需求,主流采用四種物理傳感原理:
?壓阻式?:利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng),硅膜片受力形變后應(yīng)變電阻阻值改變,通過惠斯通電橋輸出與壓力成正比的電信號(hào),適用于?大氣壓到0.1Pa的中低真空范圍?,響應(yīng)速度快,
?電容式?:通過壓力敏感膜片形變改變與固定電極間的電容,測量電容變化推算壓力,精度高穩(wěn)定性好,多用于?中高真空測量?,對(duì)極低壓力的靈敏度更優(yōu)。
?熱傳導(dǎo)式(皮拉尼計(jì))?:基于氣體熱傳導(dǎo)性隨壓力變化的原理,通過加熱電阻絲的溫度/電阻變化間接測量壓力,主要針對(duì)?大氣壓到0.1Pa的粗/低真空?。
?電離式?:在高真空/超高真空(低于0.1Pa)環(huán)境下,通過氣體電離產(chǎn)生的離子流大小計(jì)算壓力,
二、信號(hào)處理:模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為可讀數(shù)字
傳感器輸出的微弱模擬信號(hào)需要經(jīng)過多級(jí)處理才能最終顯示:
?信號(hào)調(diào)理?:先通過放大、濾波電路提升信號(hào)幅度,消除噪聲干擾,同時(shí)通過電路或算法完成溫度補(bǔ)償,修正溫度漂移對(duì)測量結(jié)果的影響。
?模數(shù)轉(zhuǎn)換(ADC)?:將連續(xù)的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為離散的數(shù)字代碼,ADC的位數(shù)直接決定測量分辨率(如16位ADC可將滿量程劃分為65536個(gè)等級(jí))。
?校準(zhǔn)與運(yùn)算?:嵌入式微處理器調(diào)用出廠預(yù)存的校準(zhǔn)曲線,對(duì)數(shù)字信號(hào)進(jìn)行線性化校正、插值計(jì)算,將其轉(zhuǎn)換為準(zhǔn)確的壓力數(shù)值,同時(shí)完成單位換算、數(shù)據(jù)濾波和報(bào)警判斷。
010-51655247
掃描微信號(hào)